技术编号：9615509
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造包括有源器件和无源波导电路的集成光路的方法，尤其涉及采用无源锥体的II1-V族有源器件的异构集成。本发明还涉及一种集成光路，尤其涉及采用所述方法制造的光子集成光路。背景技术硅光子学作为一种通用技术平台正迅速得到重视，可广泛应用于电信、数据通信、互联和传感领域。它通过在高品质和低成本的硅衬底上使用与晶圆规模技术兼容的CMOS(互补金属氧化物半导体)来实现光子功能。然而，纯无源硅波导器件在插入损耗、相位噪声(会导致信道串音)和温度依赖性方...
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