技术编号：9616855
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。—般而言，在现有技术中，在半导体制造工艺中，当从收纳安装有多个晶片的搬运器(即Front Opening Unified Pod，又称“FOUP”)插入安装及提取半导体晶片的指臂等设备破损或发生故障或错误等时，停止制造工艺，重新更换或修理设备之后，为预先检验指臂是否从搬运器正常准确地提取及插入晶片，利用搬运器进行示教。作为上述搬运器的一例有大韩民国注册专利公报注册号10-0293906号的附图1中公开的“由树脂制造的薄板收纳容器”。但是，搬运器本来的用途是...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。