技术编号:9617495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。由于大规模集成电路的发展和CMOS图像传感器(CIS)本身具有的一些优良特性,CIS —直是半导体中的研究热点,从采用前面照度(FSI)技术的图像传感器到采用背面照度(BSI)技术的图像传感器,像素(Pixel)尺寸越来越小,感光性能越来越好。3DCIS技术是在目前CIS技术基础上,将两片晶圆键合的技术,一片晶圆上制作有CIS芯片,另一片晶圆上制作有数据处理芯片,然后将两片晶圆键合在一起,来形成3D CIS芯片。这种制作方式的优势在于芯片不仅像素尺寸更小,...
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