焊盘、半导体器件和半导体器件的制造工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:9617496

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如图1所示,现有技术中的焊盘包括金属柱10’(例如铜柱)、焊料凸块20’和焊垫30’,焊料凸块20’设置在金属柱10’的第一端,焊垫30’设置在金属柱10’的第二端。由于金属柱10’与焊料凸块20’接合的一端为平面形,因而在焊料回流工艺(Reflow)中,焊料凸块20’在熔融为球体状时会沿着金属柱10’的边缘流下,从而在金属柱10’的外壁上形成非常厚的介金属化合物(MC)。由于介金属化合物的脆性较高,易变成扇贝状从界面剥离,因而会导致金属柱10’的机械强度...
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