一种基于锗硅异质结工艺的双向esd保护器件的制作方法技术资料下载

技术编号:9617536

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静电放电现象广泛存在于自然界中,它是引起集成电路产品失效的重要原因之一。集成电路产品在其生产制造以及装配过程中很容易受到静电放电的影响,造成产品的可靠性降低,甚至损坏。因此,研究可靠性高和静电防护性能强的静电放电防护器件和防护电路对提高集成电路的成品率和可靠性具有不可忽视的作用。当集成电路发生静电放电现象时,大量电荷瞬间流入芯片的引脚,这些电路产生的电流通常可达几个安培,在该引脚处产生的电压高达几十伏甚至几百伏。较大的电流和较高的电压会造成芯片内部电路的损...
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