技术编号：9621045
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 机电系统（EMS)装置包含具有例如致动器、光学组件（例如镜、快门和/或光学膜 层）和电子装置的电和机械元件的装置。EMS装置可以多种规模制造，包含但不限于微米级 和纳米级。举例来说，微机电系统（MEMS)装置可包含具有介于约一微米到数百微米或更多 的范围的大小的结构。纳米机电系统（NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小（包含，举 例来说，小于数百纳米的大小）的结构。机电元件可利用沉积、蚀刻、光刻和/或蚀除所沉 积材料层的若干部分或添加若干层以形成电气和...
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