振动装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9621318

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以往,提出了各种具有多个音叉臂的振动装置。例如,在下述的专利文献1中,公开了具有3根音叉臂的振动装置。在专利文献1中,中央的音叉臂的宽度为两侧的音叉臂的宽度的2倍。另一方面,在下述的专利文献2中,公开了具有3根音叉臂的振动装置。在专利文献2中,记载有用于使中央的音叉臂和外侧的音叉臂以相反的相位振动的电极连接方法。专利文献1W02008/043727专利文献2日本特开2009-5022号公报在具有多个音叉臂的振动装置中,为了使其稳定地振荡,寻求谐振电阻小。因...
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