技术编号：9623484
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 电子产业领域中，使用超纯水作为部件清洗水的一种。特别是半导体制备工厂和 晶片制备工厂中应用的超纯水水质要求严格，例如要求电阻率18. 2ΜΩ'emW上，微粒粒 径50nmW上的为1个/mLW下，活菌1个/LW下，T0C(总有机碳，TotalOrganicCarbon) 1yg/LW下，离子状二氧化娃0. 1yg/LW下，金属类lng/LW下，离子类5ng/LW下。超纯水的使用场所（使用点）用超纯水供给管路（流路）与超纯水制备装置连接， 在该使用点未使用的...
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