技术编号:9625458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在将多晶硅棒分切成片状多晶硅片时大多采用钢丝线进行切割,当多晶硅棒在切割至粘胶面时基本硅片形状已经加工完成后,在最后收钢丝线弓时由于钢丝线在高速运动过程中与胶摩擦产生高温导致多晶硅片向多晶硅棒的前后两端扩张形成一个扇形的形状,这种形状的改变会导致多晶硅片崩边现象增加,直接影响硅棒的成品率。为了避免这种情况的发生,本发明采用以下方式解决。发明内容本发明目的在于提出一方便操作、降低崩边、提高硅棒的成品率的多晶硅的切片方法。本发明提供了一种多晶硅片的切片作业工艺...
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