元件基板的制造方法技术资料下载

技术编号:9625680

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用于将诸如墨等的液体喷出以在记录介质上记录图像的液体喷出装置一般具有安装于液体喷出装置的液体喷出头,液体喷出头包括元件基板。关于用于从元件基板喷出液体的机构,已知利用通过压电元件的动作收缩的压力室的机构。在具有这种机构的元件基板中,压力室的壁是隔膜(diaphragm)。通过对压电元件施加电压导致压电元件的变形,隔膜卷曲,压力室收缩和膨胀。压力室的收缩对压力室中的液体施加压力,液体通过与压力室连通的喷出口喷出。供给路径形成于元件基板,液体被从供给路径供给至...
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