技术编号:9626817
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 无碱玻璃适合用作避忌碱离子扩散的显示器用途的基板玻璃。在该基板玻璃上形 成半导体元件,为了不会由于此时施加的热而变形,要求该玻璃具有高应变点和低热膨胀 系数。另外,为了轻量化,还要求比重低。 为了应对上述要求,提出了如下方案将Al2O3和B 203的量成对地进行控制,并且 将Al2O3的量限制为使碱土金属元素与镧的合计量对Al 2O3的量的摩尔比为规定值以上的量 (专利文献1)。 另外,近年来,随着显示器薄型化,要求玻璃基板也薄。在显示器制造工序中,进行...
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