一种硅片切割液的制作方法技术资料下载

技术编号:9627875

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在硅片切割生产过程中,作为金属丝切割的负责耗材,硅片切割液并不可少。切割液在悬浮能力、冷却性能、润滑性能和砂浆分散性能的好坏,很大程度上决定了硅片切割的精度和效率。目前市场上普通的硅片切割液在散热冷却性能还有所欠缺,尤其是在高频率切割下难以达到尤其。而且随着切割的进行,金属丝如果磨损到一定程度后,且润滑性能会降低,导致切割精度下降,有的抗杂质能力较差,当切割硅、铁、极氧化合物等杂质的产生,还会导致切割液性能明显下降。发明内容发明目的针对上述现有存在的问题和...
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