技术编号：9628373
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氧化铬(Cr203)薄膜是近年来发展起来并受到重视的薄膜材料之一，它具有化学稳定性强、抗高温性好、摩擦系数小、硬度高、抗磨蚀能力强、与基体结合力强等特点，被广泛用于微电子器件的阻挡层、磨损器件的保护层，以及气体轴承汽车的汽缸内壁等。目前，Cr203薄膜的主要制备方法有离子镀、磁控溅射、原位氧化等。磁控溅射沉积的薄膜具有表面平整、致密、精度高等优点。虽然很多文献对溅射法制备Cr203薄膜有详细报道，但因Cr203薄膜和金属基底热膨胀系数相差很大，直接在金属上...
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