技术编号：9629572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 现代科学技术对微观领域的研究越来越深入，已经进入了高精度的纳米、原子量 级的时代。微定位技术是微观领域研究的核屯、关键技术之一，其技术发展水平直接影响 到微观领域技术的发展水平，因此作为微定位技术工程化应用的多自由度高精度定位平台 也就具有极为重要的现实研究意义。特别的，在光刻机领域，对光刻的工艺节点线宽达到 22nm，而且晶圆的直径的进一步增大，运意味着对定位平台的要求增高，需要运动平台达到 纳米级别的定位精度，达到数百毫米级别的运动行程范围且要求运动...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。