一种间接测量石英振梁加速度计内部石英谐振梁的温度的方法技术资料下载

技术编号:9630196

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石英振梁加速度计是采用对力敏感的石英梁作为敏感器件的MEMS惯性传感器, 其输出频率正比于输入加速度大小,全数字的脉冲输出避免由模-数转换所带来的误差。 石英振梁加速度计具有测量量程大,精度高,灵敏高,稳定性,重复性好等优点,在航空航天 等领域,如战术导弹、巡航导弹、自瞄准战略导弹等各种武器系统中有着广泛的应用,在大 地重力测量、地球资源勘探中也有着极高的应用价值。 在实际的工作中,由于环境温度的变化造成了石英振梁加速度计的零偏及标度因 子的变化,与标定...
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