技术编号：9630788
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于机械刻划平面衍射光栅制作领域，具体涉及一种多个光栅刻刀并行干 涉控制式光栅刻划方法。背景技术 机械刻划法是制作平面衍射光栅的主要方法之一。该方法一般工作于罗兰工作方 式，即刻划系统带动光栅刻刀做往复运动，分度系统带动光栅基底承载工作台做单向进给 运动。光栅刻刀的功能是在光栅基底的铝膜上挤压出一条条固定间距的光栅刻线。 现有的光栅机械刻划法仅采用单光栅刻刀来实现整个光栅的刻划，主要存在以 下两方面的缺点1)在光栅刻划超过一定刻划面积后，如400m...
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