技术编号：9632544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。对圆板状的晶片进行磨削而将其薄化的磨削装置至少具有卡盘工作台，其具有保持晶片的保持面；以及磨轮，该磨轮中，在安装在主轴的下端的轮基台上将磨石排列成环状。卡盘工作台的保持面形成为圆锥面。当在该磨削装置中磨削晶片时，以使磨石的轨迹始终经过晶片的中心的方式使磨轮与卡盘工作台旋转而磨削晶片。此时，由于仿形于卡盘工作台的保持面而将晶片保持成圆锥状，因此与其对应地调整卡盘工作台的旋转轴与主轴的旋转轴之间的倾斜关系，以从晶片的中心到外周(边缘)描绘圆弧的方式，使磨石的轨...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。