技术编号:9632556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通常通过处理晶片并且在用于制造半导体器件的大部分工艺已经执行之后单一化半导体器件来制造用于在例如诸如处理器、存储器设备和光电设备之类的集成电路中使用的诸如晶体管(例如功率晶体管)、二极管或光电部件之类的半导体器件。在包括例如用于执行刻蚀工艺、光刻工艺、离子注入工艺等的多个不同装置的晶片处理设施中,在单个处理步骤之间,晶片通常在例如前开口通用箱(F0UP)的盒或匣中输运。例如,在洁净间中,晶片在匣中手动或自动地输运。当单个晶片待在处理装置中处理时,晶片必须从...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。