技术编号:9632728
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。关于热释电传感器的制作,现有工艺是将红外晶体灵敏元薄片,通过精细研磨减薄至20?30 μ,然后再利用腐蚀的方法,将晶片减薄至10 μ左右(相当于头发丝的1/8),取出后在显微镜下,放入特制的镀膜模具中,正反面镀膜,再镀金黑,这样要反复打开真空室,反复移动10 μ的晶片,反复对准镀膜模具;这一繁杂的过程造成晶片的成品率大幅度降低、光敏面的有效面积不能保证,以致影响到电参数。10 μ的晶片在镀好上下电极和金黑之后,再用胶粘在特定的陶瓷衬底上,这一工艺过程难度很...
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