技术编号：9634701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 通常，静电致动器如下构造，此处W如下顺序从下到上示意性地描述将固定或可 移动的第一电极设置在第一致动器材料上并由绝缘层覆盖。在后者上，设置牺牲层，牺牲层 再被固定或可移动的第二电极覆盖。将第二致动器材料设置在第二电极上。第一和第二电 极中的电极材料均可W不同于致动器材料，其中第一致动器材料也可W不同于第二致动器 材料，具体地，第一或第二致动器材料可W为在其上W不可移动的方式形成致动器的衬底。 在层和电极结合在一起之后，移除牺牲层，于是在结构内的电极之间留...
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