用于氧化硅、氮化硅、和多晶硅材料的化学机械抛光的组合物和方法技术资料下载

技术编号:9635253

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在存储器应用中,典型的固态存储器件(动态随机存取存储器值RAM)、静态随机 存取存储器(SRAM)、可擦除可编程只读存储器巧PROM)、W及电可擦除可编程只读存储器 巧EPROM))对于各存储位(memorybit)采用微电子电路元件。对于典型的非易失性存储元 件(例如邸PR0M,即,"闪速"存储器),采用浮栅场效应晶体管作为数据储存器件。运些器 件将电荷保持在场效晶体管的栅极上W储存各存储位,且具有受限的可再编程性。此外,它 们编程起来是慢的。 在半导...
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