技术编号：9640624
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 微机电系统（简称MEMS)是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来 的，融合了光刻、腐蚀、电铸、注塑、薄膜沉积、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术 制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微 能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。 MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经 济繁荣和国防安全的关键技术。 现有的微机械结构...
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