技术编号：9640640
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体（氦、氖、氩、氪、氙）、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等），并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。市场上的气体纯化器，通常是用铝、镁、锆等“活泼金属”担当吸气剂。当氢气、氮气、惰性气体（氦、氖、氩、氪、氙）、还原性气体（砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等）通过这些活泼金属时，其中的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳被这些活泼金属吸收，气体得到纯化。然而这些活...
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