技术编号：9644556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 测量系统是精密机电系统的关键环节。而多自由度精密位移测量系统更是被广泛 应用于机床、航空航天、汽车等领域中。现阶段高精密的多自由度位移测量W电容传感器、 电满流传感器、激光干设仪为代表，运些方法测量精度高，但是量程一般较小，安装要求比 较苛刻。 在精密测量领域特别是多自由度的位移测量，空间坐标和传感器输出之间一般都 呈现复杂的非线性关系，因而为了实现Ξ自由度乃至六自由度的位移测量需要布置多种不 同类型传感器实现各个自由度的线性化W达到求解位移的目的，运样...
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