技术编号：9644623
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年来，作为使用了娃MEMS(Mic;roElectroMechanicalSystem微机电系统）技 术的物理量传感器元件，例如已知有一种对角速度进行检测的静电电容型的巧螺传感器元 件（角速度传感器）（例如，参照专利文献1)。 例如，在专利文献1所设及的角速度传感器中，两个质量体被间接地连结在框架 上。运两个质量体W必须沿着Z方向而向相反方向移动的方式通过链接装置而被连结。W Y轴为中屯、的传感器的角速度能够通过使两个质量体在Z方向上W相反相位进行振动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。