技术编号：9645355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 变间距光栅因其兼具高分辨率、消像差、扫描机构简单等优点，广泛用于同步辐射 和等离子体诊断等领域。目前变间距光栅通常采用机械刻划、全息-离子束刻蚀的方法制备。机械刻划法 制备的变间距光栅，线密度分布可以灵活控制。机械刻划光栅通常为三角槽形轮廓，仅在闪 耀波长附近具有较高的衍射效率，偏离闪耀波长，机械刻划变间距光栅的衍射效率会明显 降低。并且这种三角槽形的光栅结构不利于抑制变间距光栅光谱仪的高次谐波。此外，一 般使用的"机械刻划变间距光栅"实质是利用机械刻划...
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