技术编号：9646033
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。习知的微影制程系包括有乳胶板光罩的使用，例如为使用于用在印刷电路板(printed circuit board, PCB)的微图案、发光二极管(light-emitting d1de, LED)装置、及超级扭曲向列(super-twisted nematic, STN)液晶显示器。该乳胶板的图样特征可小至20-50微米。由于特征尺寸的限制，乳胶光罩无法满足特征尺寸小于20微米的图案之要求，因而产生另一种铬膜光罩基板。铬膜光罩基板系以藉由将堆栈铬膜(厚度为8...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。