技术编号：9647659
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空设备，特别是指一种用于零件真空生产作业使用的真空腔室装置。背景技术工业生产作业上一些零部件需要在真空腔室内操作，特别是一些精密调整的零部件或仪器，或需要在真空环境下的所有等离子蚀刻和清洁系统。真空腔室内的调整以及安装是在大气环境常压下进行，腔室内部是在真空环境下运行。因此在腔室进行抽真空之后，腔室变形导致所有水平、垂直的基准丢失。由于基准丢失了，所有依附在腔室内部的零件因为累计误差造成零件的偏移，因此对于生产作业造成很大品质上的影响，造成大量...
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