保留空气层的三维阻变存储器的制备方法技术资料下载

技术编号:9647892

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存储器的发展追求高速度,高集成密度,高数据保持力,低功耗等。在存储器结构的研究中,二极管阵列器件及其高密度阻变存储器是目前比较关心的部分,目前用于存储器的驱动器件的研制与开发主要集中在NM0SFET,三极管和二极管以及在此基础上的一些新的器件结构,M0SFET作为一种主流的半导体器件,由于其成熟的工艺技术和相对较低的成本以及为维持其庞大的45nmCM0S单元库的可使用性,大多企业采用标准的M0SFET+相变电阻(1T1R)的结构,如此,为获得足够大的驱动电...
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