技术编号：9650023
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械装置，所述微机械装置包括至少两个传感器元件、一个分析处理晶片和至少两个具有不同气压的腔体。背景技术所述微机械装置例如由文献DE102006016260 A1已知并且能够实现将具有对包围其的大气不同要求的多个不同的传感器系统统一到一个微机械装置中。在此，不同的传感器系统一一通常是加速度传感器和旋转速率传感器布置在不同的腔体中并且包括传感器元件、优选振动质量(seismische Masse)。对于所述微机械装置通常设置，将不同的传感器系统...
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