技术编号:9650704
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明背景本文所述的实施方式大体涉及静电卡盘(electrostatic chuck ;ESC)。更具体而言,本文所述的实施方式涉及用于薄基板搬运(handle)的改良的静电载体设计。现有技术描述在诸如半导电基板及显示器之类的基板的处理中,基板在处理期间被固持在工艺腔室中的支撑件上。支撑件可包括静电卡盘,该静电卡盘具有能够经电偏压以将基板固持在支撑件上的电极。支撑件可包括支撑静电卡盘于腔室中的基座,及支撑件可能能够提升或降低静电卡盘及基板的高度。基座亦可...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。