技术编号：9658847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高精度低g值微加速度计在地震监测，石油勘探等方面具有广泛的应用。从目前国际发展情况和应用情况分析，压阻式和电容式加速度计是微型加速度计发展的主流。一般认为压阻式适用于精度较低的微加速度计研制，对于高精度的微加速度计一般采用电容式加速度计。对于电容式微加速度计一般有两种结构“三明治”结构和“梳齿”结构。“三明治”结构，质量块不论是厚度还是面积都可以做得很大，能够满足高精度的低g值微加速度计的要求，但一般利用湿法腐蚀的加工方法，湿法腐蚀控制精度较差且需要额外的...
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