技术编号:9661897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。纳米技术的深入发展对纳米制造技术提出了越来越高的要求。传统的纳米制造技术可分为掩膜加工技术和无掩膜加工技术两种。LIGA(Lithographie,Galanoformung andAbformung)是一种典型的掩膜加工技术,是一种基于电化学和光刻技术的微细加工技术。掩膜加工技术的加工精度在很大程度上取决于光刻的精度。目前的光刻技术主要有准分子光刻技术、极紫外光刻技术、电子束光刻技术、离子束曝光技术、X射线光刻技术和纳米压印光刻技术等。无掩膜加工技术是一...
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