技术编号:9665236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术一般来说,在通过安装于内燃机等的变速器油封区块、液压驱动器区块等来测量压力的压力传感器装置中,利用压阻效应的半导体压力传感器芯片被用作传感器元件。该半导体压力传感器构成为在由单晶硅等具有压阻效应的材料制成的隔膜上,桥接多个半导体应变仪。当隔膜由于压力改变而变形时,半导体应变仪的应变仪电阻根据变形量而改变,并且变化量作为电压信号从电桥电路被提取。目前,作为压力传感器装置,已知有将内置有隔膜、压电电阻元件、放大电路和各种调控电路的压力传...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。