一种可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9665575

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对于光学元件,特别是各类光学薄膜元件,表面吸收特性是一个非常重要的性能参数,直接影响到光学元件在光学系统中的功效。很多精密的光学系统对光学元件的表面吸收等特性都有非常严格的要求。因此,对光学元件的表面吸收特性进行精确测量,是非常必要的。现有测量光学元件表面吸收特性的方法主要有分光光度法、椭偏法、激光光热法等。分光光度法和椭偏法虽然比较简单,但是最大的问题是吸收率测量的灵敏度不够,通常只有10—3?10—4左右。而现在很多光学系统对光学元件吸收率的要求达到1...
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