一种硅基水平槽式微环偏振复用及解复用器的制造方法技术资料下载

技术编号:9665761

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近年来,随着光子集成技术的迅猛发展,光子器件的尺寸正在逐渐减小,成本低廉、技术成熟的CMOS工艺被广泛应用到光子器件的设计及制作领域。利用高折射率差的材料如绝缘层上硅,可极大地提高片上光器件的集成度。同时为应对当前光互连容量和带宽迅速增加的需求,偏振复用技术已被广泛用于长距离光通信网络、极大的提高了光通信容量,但是在片上系统中,偏振复用技术及其与其它技术的融合还需进一步研究。偏振复用及解复用器作为偏振复用系统中的关键部件,在提高系统传输容量方面具有重要的意...
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