具有减小的不连续性的xMR传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9666297

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磁场传感器可以包括巨磁阻(GMR)、隧道磁阻(TMR)、各向异性磁阻(AMR)以及其它技术,这些被统称为xMR技术。XMR技术可以用在旋转速度传感器中,所述旋转速度传感器传统地包括与垂直于传感器平面的反偏磁场结合的极轮(pole wheel)换能器轮或铁轮。位于这些传感器中的轮附近的xMR结构通常是具有例如小于2微米(μπι)的均匀宽度(以便通过形状各向异性而提供定义的灵敏度)和例如大约300 μπι的长度的窄条。换能器极轮仅具有有限的厚度或轴向宽度,以使...
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