技术编号：9666782
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。束流探测器(或称束流检测器)大都有真空腔，腔内机构进行机械运动，包括转动或直线运动，用于对束流进行反射和测量。实现该转动或直线运动一种方法是用真空电机，但价格昂贵，另外一种方法是使用真空传动装置，但结构和控制都比较复杂。发明内容为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供用于束流探测器的真空传动控制装置，其结构简单，制造成本低，工作稳定。本发明的目的采用以下技术方案实现用于束流探测器的真空传动控制装置，包括真空腔，真空腔内为高真空状态，真空腔外为大气；转动...
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