一种底层埋入式微米级三维薄膜电感器及其制造方法技术资料下载

技术编号:9668884

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随着集成电路的普及,电子元器件的微型化成为一种趋势。而目前电感是制约微 型化进程的一个重要环节。国内外有很多关于微型电感的报道,多数是二维平面型的薄膜 电感,运些微型电感的电感值仍较低,不能满足多数场合的要求。因而我们仍经常看到一块 集成电路板上放置着漆包线绕指在磁环外的大电感。运种场景体现了应用上对大电感值的 微型电感的迫切需求。=维薄膜电感,通电后产生的磁通量会大于二维平面行的薄膜电感。尤其是薄膜 导线缠绕磁性膜性层(类似于漆包线外绕磁体)的=维薄膜...
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