技术编号:9669036
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体生产线进入到45nm及以下级别的工艺时,产品对离子注入角度要求的窗口越来越小,对于中束流注入设备来说,某些角度敏感的工艺,注入角度偏移设计角度0.1度就会造成产品报废。而目前我们设计的中束流离子注入机可以精确测量水平及垂直方向的束流角度和平行度,并且通过精确的结构控制,可以使在水平方向的注入角度控制在0.1度以内,量化角度偏差。从最近在生产线上的工艺测试数据来看,上电或者关电瞬间轴4 二次编码在正向限位处卡死以及采集过程中由于皮带打滑等造成采集的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。