技术编号:9669088
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于AMOLED(Active Matrix/Organic Light Emitting D1de)的 TFT (Thin FilmTransistor)结构已经有多种,目前主要是采用低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动0LED发光。目前LTPS-TFT的制造工艺中,为抑制热载流子效应、减小漏电流,常引入LDD(Light Doped Drain)结构。即,对栅极两侧的多晶娃进行轻掺杂,掺杂浓度小于源漏极重掺杂浓度。在目前顶栅结构LTPS-TFT...
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