技术编号:9669116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在半导体加工领域,当机台设备发生了某些异常状况且需耍用户干预或者通知用 户时,可W抛出一个告警给用户。将这个告警称为Alarm。当一个告警抛出时,用户可W看 至IjAlam的序号(number),一般情况下,这个number都没有实际的意义,就是一个随机的数 字,只是耍求每个Alarm与number-一对应。用户如果耍清楚地区分是什么异常情况,需查 看告警的描述(message,discription)。有时用户仍然无法定位问题所在,耍向开发人员求 助,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。