用于防止焊盘区中的裂缝的半导体装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9669180

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通常,半导体装置具有将集成电路与封装体连接的焊盘区,在引线接合或探查(probing)的工艺中焊盘区常常受到外力的压迫。例如,在引线接合的过程中焊盘连接到引导部(lead)的同时,特定的压力被施加到焊盘区,并且在探查的过程中探针的针部对焊盘区施加特定的压力。因此,焊盘区上出现机械应力,如果该应力超过特定水平,则焊盘区上出现裂缝。虽然焊盘由具有延展性的金属构成,但是焊盘之间的绝缘层由脆性的介电材料构成。因此,在焊盘之间的绝缘层上更加经常地出现裂缝。一旦出现细...
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