技术编号:9669260
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。石墨烯/黑磷自被发现以来,以其优异的性能引起了研究者们的极大关注。尤其是高迀移率的特点使其成为射频器件的关键材料。目前,加州大学洛杉矶分校已经报道了频率为427GHz的石墨烯晶体管。栅和源漏自对准是追求石墨烯/黑磷晶体管射频性能的一个重要手段,研究者们提出了多种自对准的方法。本发明提出了一种用化学机械平坦化实现自对准的方法。发明内容本发明所要解决的技术问题是,提供一种。本发明解决所述技术问题采用的技术方案是,,其特征在于,包括下述步骤A、在衬底上形成氧化硅...
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