技术编号：9670326
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，工业、宇航、生物等领域对高精度定位和驱动技术的需求越来越明显，例如扫描探针显微镜、纳米定位系统和振动控制系统等，特别对纳米定位技术需求越来越高。纳米定位技术的方案之一是采用压电陶瓷致动器作为执行机构。基于多电平结构的驱动电路也渐渐运用于压电陶瓷致动器的高压驱动，目前绝大多数多电平驱动电路都是等压的多电平单元。发明内容本发明旨在提供一种适合于大功率的。本发明在保证多电平驱动电路的输出电压范围的同时，在输出低频电压或者静态输出时，可以最大程度的减少多电...
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