技术编号:9673146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在短弧型放电灯中,将高亮度的光照射到基板等曝光对象物。由于曝光对象物的大型化,还为了提高生产量,要求放电灯的高输出化,伴随于此,要求额定消耗功率的增加。当实现大功率化时,在现有的基于单一金属的电极构造中,电子放射、热释放、耐久性等受到影响。另外,由于电极的重量变重,电极支承棒等的负荷大。因此,提出了将多个金属接合来构成电极的方案。例如,将由含有钍的钍钨等构成的电极前端部与由纯钨等构成的后方主体部固相接合来构成电极(参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献...
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