技术编号:9678319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。顺便而言,碳化硅板(SiC板)等由于表面硬度高,因而在进行刻划(刻划出刻划线)时切割轮非常容易打滑,并且较难刻划出可从刻划起始点开始获得有效垂直裂缝的刻划线。如果碳化硅板等由于沿着刻划线施加弯曲应力而折断,则在刻划起始点及其附近从垂直裂缝的断续部分开始容易产生碎片等等。现有技术文献专利文献专利文献1特开2009-248267发明内容本发明需解决的问题因此,本发明的目的是提供一种用于刻划碳化硅板的方法和设备,该方法和设备允许从刻划起始点开始持续地产生有效的垂...
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