技术编号:9680692
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 全氟环戊烯是生产含氟精细化学品和高分子材料的基本原料,且全氟环戊烯具有 重要的经济,环境和应用价值。全氟环戊烯大气臭氧耗损值(0DP)为0、温室效应值((GWP100 值)较低(90)、不燃,环境友好,刻蚀性能优良,被认为是最有发展潜力的电子刻蚀气体中的 代表产品之一,可广泛应用于电子、邮电、航空航天、轻工、纺织、机械、医疗、汽车、精密仪器 等行业。在2005年专利(EP1498940A2)报道了以全氟环戊烯作为复合刻蚀气体清洗剂应用 于刻蚀行业。在20...
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