技术编号:9682598
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶硅太阳能电池生产设备领域,具体而言,涉及一种适用于链式干法制绒和PECVD真空镀膜生产晶硅太阳能电池工艺的抽真空设备及方法。背景技术晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用,而今开始有取代传统化石能源等趋势。在晶硅电池的生产中,RIE干法制绒和PECVD真空镀膜是两个重要的真空工艺技术。RIE干法制绒是在真空化学气氛下经等离子激发形成低反射率的粗糙表面。而等离子强化的化学气相沉积(PECVD)真空镀膜是用在正表面氮化硅...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。