技术编号：9685282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻投影物镜是制造大规模集成电路中的关键设备，近些年来，随着科学技术的不断进步，集成电路的规模不断提高，对光刻投影物镜分辨率的要求也不断提高。在光刻投影物镜的设计与系统集成过程中，对物镜镜框的机械精度有着极高的要求，尤其是镜框的基准面平面度，它可以直接影响所支撑镜片的倾斜程度，从而影响物镜最终成像质量。现有技术中，镜框平面度的测量方法主要有三种一种是将镜框加工完成之后，从机床上取下来，放在诸如三坐标测量机(CMM)、圆度仪等设备上进行检测，如果没有达到工件...
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